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氧化铝陶瓷零件因其优异的电绝缘性能、高导热性和机械强度而被广泛应用于半导体工艺设备。在半导体制造中，氧化铝陶瓷零件在注入机设备中尤为重要。     注入机设备用于离子注入，这是半导体制造中的一项关键工艺，其中离子被加速并注入基板以改变其性能。   注入机中使用的氧化铝陶瓷部件包括绝缘体、晶圆和支撑结构，均设计用于承受离子注入工艺中典型的高温和腐蚀性环境：   陶瓷晶圆载体：在离子注入过程中固定和支撑晶圆…

BN-AlN陶瓷是由氮化硼（BN）和氮化铝（AIN）粉末烧结而成。它具有优异的电绝缘性、热导率、高强度、抗热冲击性以及对卤素气体等离子体的强抵抗性，因此具有广泛的应用范围，包括半导体生产设备的组件和需要有效散热的组件。   离子源是一种在真空室中产生原子和分子离子的装置。氮化铝/氮化硼复合材料具有优异的电绝缘性、热导率、对真空的密封能力，并且不会释放出太多气体。因此它在离子源中起着散热器和传热板的作用。     材料优势： …

孔板是离子进入质谱仪的开口，是质谱仪的关键部件之一。 孔板的作用是施加电压并帮助防止离子聚集在一起。     好的孔板应包括以下因素 1.可拆卸加热器 它使用 MCH 加热器，这是金属陶瓷加热器的缩写。 是指将钨或钼锰糊料印刷在陶瓷铸体上，经热压叠层后在氢气氛围中以1600℃高温共烧，使陶瓷与金属共烧结而成的陶瓷加热元件。   MCH陶瓷加热元件高效、环保、节能。   MCH加热器具有以下优…

在先进材料领域中，氮化硼陶瓷 (BNC) 是一类引人注目的化合物，以其卓越的热稳定性、化学惰性和轻质特性而闻名。在利用这些独特特性的众多应用中，氮化硼陶瓷蒸发舟套件已成为高温加工行业不可或缺的工具，特别是在半导体制造、真空金属化和先进涂层技术领域。   氮化硼陶瓷的本质 氮化硼 (BN) 是硼和氮的化合物，以各种晶体形式存在，每种晶体形式都具有不同的特性。其中，六方氮化硼 (h-BN) 和立方氮化硼 (c-BN) 是陶瓷应用中最常用的。 BNC，尤其是通过热解工艺制成的 …

氧化铝陶瓷 (Al₂O₃) 高级陶瓷用于电子和技术领域。它具有独特的性能，使其在电气和电子电路中发挥重要的绝缘、传感器、电阻、电容、磁性和电光作用。在本文中，我们将探讨高级陶瓷在电子和技术领域的应用。   1. 高级陶瓷在电子和技术领域的性能 高级陶瓷以其出色的电气和热性能而闻名。它们具有高导热性，使其成为散热器的理想选择，有助于散发电子元件的热量。它们还具有高介电强度，这使它们适用于电阻器、电容器和绝缘体等电子元件。    …